国产首台商业化电子束光刻机启动测试

发表于2025-08-19 |来源:科创板日报 |作者:- |点击量:64
摘要
2025年8月13日,首台国产商业化电子束光刻机 “羲之” 在客户现场进入应用测试,为中国量子芯片的自主研发增添“利器”。
关键词:光刻机国产

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