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国产首台商业化电子束光刻机启动测试
发表于2025-08-19
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来源:科创板日报
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作者:-
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点击量:64
摘要
2025年8月13日,首台国产商业化电子束光刻机 “羲之” 在客户现场进入应用测试,为中国量子芯片的自主研发增添“利器”。
关键词:
光刻机
国产
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