上海光机所在VOx薄膜微结构演变与光学性能调控方面取得进展

发表于2026-03-23 |来源:中国科学院上海光机所 |作者:- |点击量:2
摘要
上海光机所王俊团队探究了退火温度对 VOx 薄膜的调控规律,提出磁控溅射结合后退火工艺优化 VO₂(M₁) 薄膜性能,其光、热诱导调制能力大幅提升,为激光防护器件研发提供支撑。
关键词:上海光机光学性能VOx 薄膜

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