北方华创发布全新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备
发表于2026-03-28
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来源:北方华创
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摘要
2026 年 3 月 25 日,北方华创发布 12 英寸 NMC612H 高端 ICP 刻蚀设备,攻克多项技术难题,实现高深宽比与埃米级均匀性,适配先进芯片制造,搭载 AI 平台提升效率。 关键词
关键词:
北方华创
NMC612H
ICP 刻蚀设备
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