首款半导体后道工艺的光刻系统！

发表于2025-07-28 |来源：智云仪器网 |作者：讯锋 |点击量：68
摘要
2025 年7月16日，日本尼康宣布推出其首款面向半导体后道工艺的光刻系统 DSP-100，并于当月起接受订单，预计2026财年内上市。
关键词：光刻机空间光调制器

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