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VK-9510K 属于共聚焦激光显微测量系统，融合紫色激光扫描与彩色白光成像，非接触式采集样品表面彩色图像与三维轮廓数据。设备无需样品喷镀等预处理，在常规环境下即可开展观测与定量测量。可完成高度、截面轮廓、粗糙度、体积、台阶差等多种参数分析，兼顾高清彩色形貌观察与微米级三维尺寸测量。系统支持自动对焦与大范围图像拼接，适配多种倍率物镜，能够高效检测微小凹凸缺陷、微观加工纹理与细微结构尺寸。
参数详情
测量原理：共聚焦紫色激光 + 彩色光学复合成像
激光波长：408nm 紫色激光
Z 轴垂直分辨率：10nm
综合放大倍率：最高 28800 倍
XY 载物台行程：50mm×50mm
最大测量高度范围：±9.999mm
测量方式：非接触式扫描
成像输出：彩色 2D 图像 + 3D 形貌模型
支持分析项目：高度差、截面轮廓、表面粗糙度、体积、面积
工作温度：5℃~40℃
整机配置：测量主机、控制器、操作终端
半导体电子：焊点高度、封装表面、晶圆纹路、元器件微观缺陷检测
精密模具：模具表面粗糙度、细微划痕、蚀纹轮廓测量
五金切削：加工纹理、毛刺、台阶高度、倒角三维形貌分析
消费电子：外壳涂层、微型结构、胶点体积与高度检测
医疗器械：精密零件表面轮廓、焊缝、微小端面质量检测
光学元件：镜片表面瑕疵、镀膜台阶差、微观凹凸检测
材料实验室：材料断面形貌、薄膜厚度、试样表面特性分析