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一：产品参数
产品名称：小型溅射仪
产品型号：KT-Z1650PVD
产品品牌：郑科探 Zhengketan
生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-Z1650PVD是一款溅射功率可调的小型磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。且可加装膜厚仪来实时监测镀膜厚度，通过设定电流及时间/厚度来调节溅射速率及薄膜沉积厚度，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明高鹏玻璃减少样品污染，腔体为铝合金一体成型来减少漏率，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，设备自带PID进气阀全程恒定调节镀膜真空。
三：主要技术要求
| 1：控制方式 | 7寸人机界面 自动模式 晶控模式（需配膜厚仪）切换 |
| 2：镀膜方式 | 真空直流磁控溅射镀膜 |
| 3：镀膜功能 | 0-999秒可变换功率 及挡板复位和样品旋转 自动进气等程序控制 |
| 4：最大功率 | ≤500W（电压≤1000V 电流≤500mA) |
| 5: 极限真空 | 机械泵 ≤1Pa（5分 钟） 分子泵≤5*10^-3Pa（30分钟） |
| 6：挡板类型 | 电控 |
| 7：镀膜靶材 | 直径Ф50mm 厚度0.2-2mm |
| 8：镀膜真空 | ≤5Pa |
| 9：溅射气体 | 高纯氩气（自动进气/关闭 PID调节设置的真空度） |
| 10：真空腔室 | 高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm |
| 11：样品台 | 快速插拔式 可旋转φ75 （最大可安装φ70样品） |
| 12：样品台转速 | 0-8转/分钟 |
| 13：样品靶材距离 | 40-70mm（可调节） |
| 14：真空测量 | 电阻真空（测量范围10E5Pa 1E-1Pa ） |
| 15：预留真空腔室接口 | KF40/KF25抽气口 KF16真空计接口Q15放气口 6mm快插进气口 可扩展膜厚测量口 |
| 16：产品重量 | 约17KG |
| 可选配扩展（选配） | ①机械真空泵抽速8mm3/h（单设备≤1Pa(5分钟） |
| ②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟≤5*10^-3Pa） | |
| ③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率6MHz） | |
| 主要配置要求 | 小型溅射仪 KT-Z1650PVD 主机1台 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个 |