- 产品详情
- 在线询价
一：产品参数
产品名称：小型蒸镀仪
产品型号：KT-Z1650CVD
产品品牌：郑科探 Zhengketan
生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及自动样品挡板开关功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔室为透明高鹏玻璃罩减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
三：主要技术要求
| 1：控制方式 | 7寸人机界面 手动模式 自动模式 晶控模式（需配膜厚仪） |
| 2：镀膜方式 | 真空电阻加热式热蒸发镀膜 |
| 3：镀膜功能 | 0-999秒可变换功率 及挡板复位和样品旋转等程序控制 |
| 4：最大功率 | ≤1200W（电压≤12V 电流≤150A) |
| 5: 极限真空 | 机械泵 ≤1Pa（5分 钟） 分子泵≤5*10^-3Pa（30分钟） |
| 6：挡板类型 | 电控 |
| 7：真空腔室 | 高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm |
| 8：样品台 | 快速插拔式 可旋转φ75 （最大可安装φ70样品） |
| 9：样品台转速 | 0-8转/分钟 |
| 10：样品靶材距离 | 40-70mm（可调节） |
| 11:蒸发温度 | ≤1800℃ |
| 12：蒸发坩埚类型 | 钨舟 陶瓷坩埚 石英坩埚 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 碳绳等 |
| 13：真空测量 | 电阻真空计（测量范围10E5Pa 1E-1Pa ） |
| 14：预留真空腔室接口 | KF40/KF25抽气口 KF16真空计接口Q15放气口 可扩展膜厚测量口 |
| 15：产品重量 | 约16KG |
| 可选配扩展（选配） | ①机械真空泵抽速8mm3/h（单设备≤1Pa(5分钟） |
| ②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟≤5*10^-3Pa） | |
| ③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率6MHz） | |
| 主要配置要求 | 小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD 主机1台 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个 |