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155C 是台式半导体器件参数分析仪，属于安捷伦经典器件表征平台，集成源监测单元，可完成 I‑V、准静态 C‑V 测试，可搭配探针台开展晶圆级器件测试。
参数详情
硬件模块：4 路 MPSMU 中功率源监测单元，2 路 VSU 电压源单元，2 路 VMU 电压测量单元
电压输出范围：‑100V ~ +100V
电流量程：10fA ~ 100mA
电压分辨率：VMU 差分模式 1μV
电流分辨率：10fA
测试能力：I‑V 扫描、采样测量、准静态 C‑V 测试，支持器件应力可靠性测试
扩展模块：选配 41501B 扩展单元，增加脉冲发生器、额外源监测通道
程控功能：内置 IBASIC 编程语言，GPIB 接口，EasyEXPERT 测试软件
分立半导体器件测试：二极管、BJT、MOSFET 晶体管 I‑V 特性、阈值电压、导通电阻测试
晶圆器件表征：芯片原型、MOS 器件、氧化物薄膜可靠性、栅漏电流测试
光电器件研发：太阳能电池、光电二极管 IV 曲线、转换效率测试
介电材料测试：介质薄膜、绝缘材料漏电流、准静态 C‑V 电容电压测试
半导体可靠性实验：热载流子退化、电迁移、氧化层应力老化测试
新材料器件：二维材料、有机半导体器件电学参数表征