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Dimension Icon 是布鲁克旗舰级大样品原子力显微镜，针尖扫描架构，搭载 NanoScope 6 控制器，具备超低噪声、低热漂移，拥有 PeakForce Tapping 全套成像模式，可实现形貌、力学、电学、磁学多维度纳米表征，支持 200mm 晶圆样品，广泛用于高端科研与半导体工业研发。
参数详情
扫描范围：XY 90μm×90μm，Z 轴 10μm
闭环噪声：XY≤0.15nm RMS，Z 本底噪声＜30pm RMS
热漂移速率：＜200pm / 分钟
样品承载：最大 210mm 直径样品，厚度≤15mm，电动 XY 样品台，可视区域 180mm×150mm
光学系统：500 万像素数字相机，电动调焦，数字变焦
扫描模式：接触模式、轻敲模式、PeakForce Tapping、力曲线测试
可选扩展模块：PeakForce‑QNM 纳米力学、CAFM 导电原子力、TUNA 隧穿电流、MFM 磁力、EFM 静电力、AFM‑IR 纳米红外、液相环境模块
半导体研发：晶圆表面粗糙度、光刻图形、介质薄膜、栅介质失效分析，200mm 晶圆样品表征
高分子材料：聚合物薄膜模量、粘附力、形变分布，纳米力学图谱成像
二维材料：石墨烯、过渡金属硫化物表面形貌、缺陷、电学性质表征
生物科研：生物大分子、细胞、膜蛋白液相环境下形貌与力学测量
涂层薄膜：功能涂层、光学薄膜表面形貌、粗糙度、局部力学性能测试
磁学电学材料：磁性薄膜、压电材料微区磁学、电学信号扫描成像