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Dimension FastScan Pro 属于工业级高速原子力显微镜，基于 Dimension 平台针尖扫描架构，主打高速成像与自动化计量，可选配 FastScan 高速扫描头或 Icon 扫描头，支持 200‑300mm 大尺寸晶圆，搭载 AutoMet 自动化软件，面向半导体质控、失效分析与高通量研发测试。
参数详情
扫描头配置：可选 FastScan 高速头（XY 35μm×35μm，Z≥3μm）、Icon 扫描头（XY 90μm×90μm，Z 10μm）
闭环噪声：FastScan 头 XY≤0.20nm RMS，Z＜55pm RMS；Icon 头 XY≤0.15nm RMS，Z＜35pm RMS
扫描速度：FastScan 扫描头实现高速帧扫描，成像速率远高于常规 AFM，支持大气、液相环境成像
样品台：电动 XY 样品台，标配 200mm 晶圆真空吸盘，可选 300mm 晶圆吸盘，样品最大厚度 15mm，双向重复定位≤6μm
半导体工业：200mm/300mm 晶圆粗糙度、薄膜厚度、光刻图形、微缺陷自动化计量与失效分析
光电子行业：Mini‑LED、Micro‑LED、OLED 器件表面形貌、膜层粗糙度批量检测
数据存储：硬盘磁头、磁盘介质纳米形貌快速表征
高分子薄膜：聚合物涂层表面形貌、粗糙度、纳米力学高通量测试