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KT-S2DQX 等离子清洗机配套电源为150W,13.56MHz的射频电源。整机属于精密干法清洗设备,核心适用于多行业高精度表面处理场景,应用范围覆盖半导体加工、镀膜工艺、PCB制程、元器件封装前处理、COG预压前处理、真空电子器件制备 连接器与继电器活化处理,同时可实现塑料、橡胶、金属和陶瓷等各类材质表面的活化改性,也可用于生命科学相关实验研究。
该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2.2L。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别使用科实验样品清洗和教学。
三:主要技术要求
| 1:供电电源 | AC220V(AC110V可选) |
| 2:整机功率 | ≤1000W(含真空泵) |
| 3:清洗功率 | 5-150W可调 |
| 4:清洗频率 | 13.56MHz |
| 5: 清洗温度 | <80℃ |
| 6:特性阻抗 | 50欧姆 自动匹配 |
| 7:耦合方式 | 电容耦合 |
| 8:清洗真空度 | ≤50Pa |
| 9:腔体材质 | 高纯石英 |
| 10:腔体容积 | 2.2L(内径Ф110mmx深度240mm) |
| 11:观察窗内径 | Φ50 |
| 12:气体流量 | 双进气通道0—50ml/min(质量流量计) |
| 13:真空测量 | 电阻式真空计(测量范围1E5Pa到1E-1Pa) |
| 14:流量控制 | 精密针阀控制 |
| 15:控制方式 | 7寸人机界面全自动控制 |
| 16:产品重量 | 约21KG |
| 17:冷却方式 | 强制风冷 |
| 18:主要配件 | 等离子清洗机主机1台 样品托盘 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个 |
| 可选配置 | ①机械真空泵抽速4m³/h |
| ②涡旋无油真空泵10m³/h | |
| ③手动石英滚筒器皿(用于少量颗粒或粉末清洗) |
