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KT-S2DQX 150W射频全自动等离子清洗机

供应商:郑州科探仪器设备有限公司
品牌:郑科探
型号:KT-S2DQX
产地及成色:国产全新
更新时间:2026-09-24 11:36:55
浏览次数:36
产品价格: 面议
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KT-S2DQX 等离子清洗机配套电源为150W,13.56MHz的射频电源。整机属于精密干法清洗设备,核心适用于多行业高精度表面处理场景,应用范围覆盖半导体加工、镀膜工艺、PCB制程、元器件封装前处理、COG预压前处理、真空电子器件制备 连接器与继电器活化处理,同时可实现塑料、橡胶、金属和陶瓷等各类材质表面的活化改性,也可用于生命科学相关实验研究。

该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2.2L。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别使用科实验样品清洗和教学。

三:主要技术要求

1:供电电源AC220V(AC110V可选)
2:整机功率≤1000W(含真空泵)
3:清洗功率5-150W可调
4:清洗频率13.56MHz
5: 清洗温度<80℃
6:特性阻抗50欧姆 自动匹配
7:耦合方式电容耦合
8:清洗真空度≤50Pa
9:腔体材质高纯石英
10:腔体容积2.2L(内径Ф110mmx深度240mm)
11:观察窗内径Φ50
12:气体流量双进气通道0—50ml/min(质量流量计)
13:真空测量电阻式真空计(测量范围1E5Pa到1E-1Pa)
14:流量控制精密针阀控制
15:控制方式7寸人机界面全自动控制
16:产品重量约21KG
17:冷却方式强制风冷
18:主要配件等离子清洗机主机1台 样品托盘 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个
可选配置①机械真空泵抽速4m³/h
②涡旋无油真空泵10m³/h
③手动石英滚筒器皿(用于少量颗粒或粉末清洗)