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半导体设备,EMC设备,电子测量仪器
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产品描述
Keithley 487 是一台 5½ 位、双通道的高阻计/皮安表,内置 ±500 V 可编程直流电压源,可同时完成极低电流(fA 级)检测与高阻(>1 PΩ)评估。仪器采用三同轴输入与浮地设计,可直接驱动高阻样品或作为高灵敏度电流计使用,广泛应用于绝缘材料体电阻率、半导体漏电流、电容器介质吸收等测试场景。
主要技术指标
- 电流测量范围:10fA 至 2mA。
- 电压源范围:有 500V 量程(分辨率 10mV)和 50V 量程(分辨率 1mV)两种可选。
- 电阻测量范围:可测量从 500mΩ 到 5×10¹⁶Ω 的电阻。
- 测量速度:可达 80 读数 / 秒。
- 接口:配备 IEEE-488 接口,方便与其他设备通信和数据传输。
半导体器件测试、光电器件测试、电化学测试、高电阻测量




