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计量检测设备,半导体,电子测试测量仪器
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- 基本架构：基于 PC 的仪器，搭载 Windows 操作系统，采用十槽模块化设计，可插入源监视器单元（SMU）、高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）等多种模块，灵活配置满足不同测量需求。
- 测量功能：具备卓越的 IV 测量性能，测量分辨率可达 0.1fA/0.5V。支持单通道和多通道扫描、时间采样等多种测量方式，还可进行准静态 CV 测量。此外，能生成 10ns 可编程脉冲宽度、±40V（80V 峰峰值）输出的高压脉冲，用于相关测试。
- 电容测量：可选集成电容模块，支持高达 5MHz 的 CV 测量。基于定位器的 CV-IV 开关解决方案，具有 0.5V 电压测量分辨率和 10fA、1fA 或 0.1fA 电流测量分辨率能力。
- 软件支持：配备 EasyEXPERT 软件，提供直观的面向任务的器件表征方法，可处理 IV-CV 切换和误差补偿。还可通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发。
- 半导体器件研发与生产测试：可用于晶体管、二极管等半导体器件的电气特性表征，通过精确测量 IV 和 CV 特性，帮助工程师了解器件性能，优化设计。例如，在高 k 栅极电介质和 SOI 晶体管表征中，利用其 10ns 脉冲 IV 解决方案，能准确获取器件参数。在半导体生产过程中，可对芯片进行抽检或全检，确保产品质量符合标准。
- 存储器测试：是非易失性存储单元表征的出色解决方案，可通过高压脉冲生成功能，对闪存等存储器件进行测试，检测其读写性能、耐久性等参数，有助于提高存储器件的可靠性和性能。
- 高速器件测试：能满足高速器件表征需求，可进行高级 NBTI（负偏压温度不稳定性）测量和 RTS（随机电报噪声）测量等，帮助工程师分析高速器件在不同条件下的性能变化，对于开发高性能集成电路具有重要意义。
- 电子材料性能研究：对于半导体材料如硅片、化合物半导体材料等，可通过测量其 IV 和 CV 特性，分析材料的导电性、载流子浓度等参数，为材料研发和质量控制提供数据支持，有助于开发新型电子材料和改进现有材料性能。
- 教学与科研：其模块化设计和丰富的测量功能，适合高校和科研机构用于电子仪器仪表相关课程教学和科研项目，帮助学生和科研人员深入了解半导体器件特性和测量技术，开展相关课题研究。
