产品概述

M9614A 是面向 PXIe 平台的单槽五通道精密 SMU，单通道输出 30 V/500 mA，测量分辨率达 6 μV/100 pA，支持 500 kSa/s 采样与 100 μs 窄脉冲，内置无缝量程切换与多通道同步，适配半导体可靠性、IC 量产与光电器件的高通道密度 I-V / 脉冲测试，兼顾精度与吞吐。

功能特点

1. 高通道密度与精度

单槽五通道：相较传统四通道 SMU 提升 25% 通道密度，降低每通道成本与机箱占用。

宽动态范围：6 μV/100 pA 分辨率覆盖从 nA 级漏电流到 mA 级工作电流，适配多类型器件测试。

无缝量程切换：四档电流量程自动切换，避免手动操作与数据断层，提升测试效率。

2. 脉冲与动态测试

高速采样与窄脉冲：500 kSa/s 采样与 100 μs 脉冲宽度，支持功率器件动态功耗、栅极电荷与瞬态响应测量。

脉冲参数可编程：占空比、边沿时间与延迟可调，适配不同器件的脉冲应力与响应测试。

3. 同步与系统集成

多通道同步：支持通道间与多模块触发同步，同步误差 < 100 ns，适配多 DUT 并行测试。

软件生态：兼容 Keysight PathWave Test Automation、LabVIEW、Python 与 SCPI，支持自动化脚本开发与 ATE 集成。

数据吞吐：PCIe Gen 2 x4 总线确保高速数据传输，适配长时间连续采集与实时分析。