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产品概述
该设备可实现电流电压（I - V）、电容电压（C - V）和超快速脉冲式 I - V 特性的同步测量，能完成亚皮安级漏电测量、微欧级电阻测量等宽范围 I - V 测量，以及多频、超低频等多种类型的 C - V 测试。它采用模块化设计，拥有 9 个测量槽和内置低噪声接地单元，可搭配 4210 - SMU 高功率源 - 测量单元、4215 - CVU 电容电压测量单元等多种模块灵活配置。同时集成嵌入式 PC 机、Windows 操作系统和大容量存储器，还支持与多种外部设备兼容，适配不同测试场景的扩展需求。
产品特点
测量精度极高：借助可选的远程前置放大器，能将源测量单元（SMU）的分辨率提升至 0.1fA，搭配 4215 - CVU 模块时，测量 1fF 电容器的噪声水平可低至 6 阿法，可满足纳米器件、精密电容等超高精度测试需求。且电流测量噪声通常小于测量量程的 0.001%，一年精度漂移小于 0.02%，能稳定输出可靠数据。
操作与分析高效便捷：具备直观的点击式操作界面，Clarius 软件内置 450 多项应用测试，用户可直接使用或修改。同时支持自动实时参数提取、数据绘图和分析函数，搭配 Excel - based Lifetime Analysis 工具，能一键完成退化 - 时间拟合等分析，测试过程中还可实时查看退化曲线等数据，达到设定退化比例可自动判停。
功能适配性强：不仅能开展常规直流和电容测试，其脉冲 I - V 测试可防止器件自发热或减少电荷俘获效应，适配先进半导体测试需求。此外，内置的 Stress/Measure 等功能可实现五个 JEDEC 规范的样品测试，还能通过配置不同套件，完成热载流子注入、负偏压温度不稳定性等可靠性测试。
导体工业生产检测：在晶圆厂中可开展晶圆级热载流子退化测试，将可靠性测试从封装后前移到工艺开发阶段，帮助工程师实时诊断工艺调整对器件寿命的影响。同时也能对封装器件进行可靠性验证，为半导体生产的工艺优化和质量把控提供数据支撑。
前沿科研领域研究：是高校和科研机构研究纳米技术、有机电子等领域的重要工具，可用于碳纳米管、半导体纳米线等新型器件的电学特性测试。此外，在光电信息材料与器件、电子科学与技术等领域的科研中，常用于相关器件的物理特性和可靠性研究，相关测试数据被众多权威学术期刊认可。
特种器件测试：可用于非易失性存储器，如闪存、阻变存储器等的脉冲 I - V 表征测试。同时其 Clarius 软件包含生物传感器测试项目，能完成生物传感器传输和输出特性的检定，助力生物电子领域的研发测试工作。
