一、产品概述

Keithley 6487 是一款5½ 位单通道精密测量仪器，核心是将超高灵敏度电流表与可编程高压源合二为一。它不仅能捕捉低至20fA（飞安）的微弱漏电流，还能自主提供最高500V的直流偏置电压，无需外接电源即可完成器件的I-V 特性分析与高阻 / 绝缘电阻测量。

核心功能：微弱电流测量 + 500V 可编程电压源

测量精度：5½ 位显示，10fA电流分辨率

测量范围：电流 20fA ~ 20mA；电压 200μV ~ 505V

测量速度：最高 1000 读数 / 秒

典型应用：半导体器件、光电二极管、材料绝缘、高阻体特性测试

二、产品特点

1. 飞安级超高灵敏度

超低噪声：10fA（1×10⁻¹⁵A）分辨率，可精准测量皮安级、飞安级电流

极低压降：输入端负载电压（Burden Voltage）< 200μV，不干扰弱信号回路

8 档量程：覆盖 20fA 至 20mA，支持高速自动 / 手动量程

2. 内置 500V 高压源（核心优势）

宽范围输出：0 ~ 505V连续可调，分辨率 200μV

浮地测量：支持浮地（Floating）测量，最高耐压 500V，有效抑制地环路噪声

电压扫描：内置自动电压扫描功能，直接输出 I-V 曲线，简化器件表征

阻尼功能：针对容性负载（如电容、半导体结）提供阻尼控制，防止电压过冲

3. 高速与自动化

高速采集：1000 次 / 秒读数，满足产线高速测试需求

交互测阻：** 交变电压法（Alternating Voltage）** 直接测高阻，无需计算

兼容旧型号：内置486/487 仿真模式，无缝替换 legacy 设备

4. 丰富接口与软件支持

通信接口：标配 GPIB (IEEE-488)、RS-232、模拟输出

驱动支持：提供 LabVIEW、C/C++、IVI/VISA 驱动

数据工具：内置 ExceLINX 插件，直接将数据导入 Excel 分析