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一、产品概述
2602B 是一款双通道、四象限、6½ 位高精度源测量单元。单台仪器集成了可编程电压 / 电流源、6½ 位万用表、脉冲发生器、电子负载、任意波形发生器五大核心功能。
通道配置:2 个完全隔离、独立控制通道(CH1/CH2)
功率:单通道 40W,整机 80W
输出范围:±40V、±3A(DC);±10A(脉冲,≤1ms)
测量分辨率:电流 100fA,电压 100nV
核心定位:替代两台 2400 系列 SMU,提供更高速度、更高集成度、更低系统成本
二、产品特点
1. 双通道灵活架构(核心优势)
独立 / 同步双模式:两通道可独立工作,或同步输出 / 测量,用于双极性器件、栅漏、FET等测试。
通道串并联扩展
并联:±6A DC / ±20A 脉冲(扩流)
串联:±80V(扩压)
电气隔离:通道间完全隔离,避免地环路,适配浮地测试。
2. 超宽量程与超高精度
四象限运行:源出(Source)与吸入(Sink)电流,可作电源或电子负载,完美适配电池、太阳能电池测试。
6½ 位分辨率:
电流:100fA(1×10⁻¹⁶A) 覆盖飞安至安培级
电压:100nV 覆盖微伏至 40V
电阻:500nΩ ~ 40TΩ
高精度指标:
电压源:0.02% + 250µV
电流源:0.1% + 100pA(100nA 量程)
3. TSP® 高速自动化(革命性)
内置 TSP 脚本处理器:基于Lua 语言,仪器脱离 PC 独立运行复杂测试序列,速度提升 5~10 倍。
超大存储:16MB 内存,存储5 万行代码、20 万条读数。
TSP-Link® 总线:级联多台 2600B/2600A,构建多通道并行测试系统,无主机柜限制。
极速采样:单通道 200μs 完成源 - 测周期,>10,000 读数 / 秒。
4. 脉冲与瞬态测试能力
窄脉冲输出:10μs~1ms 脉冲宽度,10A 峰值电流,用于MOSFET、IGBT、VCSEL、LED瞬态 I-V 测试。
内置缓冲器:高速捕获瞬态电流 / 电压波形,捕捉器件动态特性。
5. 全面接口与兼容性
标配接口:GPIB、RS-232、USB、LXI-Ethernet、14 路数字 I/O
软件兼容:SCPI 命令、兼容 2400 系列指令,无缝迁移旧系统代码。
1. 半导体器件表征(核心应用)
分立器件:二极管、BJT、MOSFET、JFET 的I-V、击穿电压、栅漏电流、亚阈值测试。
功率器件:IGBT、GaN/SiC 器件高压大电流脉冲测试。
光电器件:LED、激光二极管、VCSEL、光电二极管的暗电流、光电流、LIV 特性。
晶圆测试:芯片、晶圆级可靠性、漏电、参数化测试。
2. 新能源与无源元件
太阳能电池 / 光伏:I-V 曲线、效率、MPP、串联电阻测试。
电池 / 储能:充放电曲线、直流内阻(DCR)、自放电、循环寿命。
被动元件:高值电阻、陶瓷电容漏电流、压敏电阻、热敏电阻特性。
3. 先进材料与纳米科技
纳米材料:石墨烯、碳纳米管、二维材料电阻率、载流子迁移率。
薄膜 / 有机材料:ITO、OLED、有机半导体 I-V 特性。
超导 / 压电材料:微弱电流、临界电流测量。
