一：产品参数

1． 产品名称：小型溅射仪

2． 产品型号：KT-Z1650PVD

3． 产品品牌：郑科探  Zhengketan

4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

  KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。

三：主要技术要求

1． 控制方式：7寸人机界面 晶控（需配膜厚仪）/自动控制模式切换

2． 溅射电源：直流溅射电源

3． 镀膜功能：0-999秒可变换功率及挡板位和样品速度程序

4． 最大功率：≤1000W

5． 最大输出电压电流：电压≤1000V  电流≤500mA

6． 真空度：程序电控 自动匹配设置的真空度 机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa

7． 镀膜真空：≤5Pa

8． 挡板类型：电控

9． 氩气进气：程序电控 自动进气/关闭

10． 真空腔室：铝合金一体φ160mm x 170mm

11． 样品台：插拔式可旋转φ75  （最大可安装φ70基底）

12． 样品台转速：8转/分钟

13． 样品溅射源调节距离：40-70mm

14． 真空测量：电阻真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa ）

15． 预留真空接口：KF25抽气口    KF16放气口  6mm卡套进气口

四：标配

 1．1台小型溅射仪KT-Z1650PVD

  2.  电源线

  3.  合格证 说明书 保修卡

五：可选配扩展

1.机械真空泵抽速8mm3/h≤5Pa(5分钟）

2.分子泵机组（可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa）

 3.膜厚仪:(厚度范围0-999.9A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率5-6MHz