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一、产品概述
R6246 内置两个完全电气隔离的 SMU 通道,可独立或同步工作,每通道均支持四象限(源 / 汇)运行。它能提供从±62V/±20A(140W)到±220V/±2A(2.4W)的宽范围功率输出,并具备1μV/10fA的超高测量分辨率,可同时满足精密低功耗器件与大功率器件的表征需求。作为半导体测试领域的标准仪器,其核心价值在于高精度、高速同步、双通道的一体化解决方案。
二、产品特点
双隔离通道,同步精准测量
双通道电气隔离:通道间完全隔离,可安全测试差分电路、多端口器件(如 MOSFET、IGBT),避免地环路干扰。
同步测量:支持精确时序控制,可高速同步测量器件输入输出特性(I/O)。
最小脉冲宽度 100μs,步长 700μs,适合瞬态特性测试。
宽范围、四象限、大功率输出
双量程配置:
CH A (高功率):±62V, ±20A (140W)
CH B (高电压):±220V, ±2A (2.4W)
四象限运行:既可作为电源(源)输出,也可作为负载(汇)吸收电能。
无间断量程切换:输出平滑无毛刺,保护被测器件。
超高精度与分辨率
输出精度:±0.03%
测量精度:±0.02%
分辨率:电压 1μV,电流 10fA(高阻量程)
高压摆率:0.8V/μs,响应迅速。
强大的自动化与序列功能
序列编程:内置序列发生器,可自动执行复杂的扫描测试(如 IV 曲线)。
触发链路(Trigger Link):支持多机级联,构建大型自动化测试系统。
标准接口:配备 GPIB(IEEE-488)、USB 等接口,易于集成至 ATE 系统。
极低噪声与高稳定性
专为低电平、高灵敏度测量优化,输出噪声极低,适合表征微弱电流 / 电压信号。
支持远端检测(Remote Sense),补偿测试线压降,精度最高可达 5V。
半导体器件直流特性测试
分立器件:BJT、MOSFET、GaAs FET、二极管、晶闸管的 IV 曲线、击穿电压、漏电流测试。
功率器件:IGBT、大功率 MOSFET 的大电流、高电压安全工作区(SOA)测试。
光电器件:LED、激光器、光电二极管的电光特性分析。
集成电路(IC)测试
模拟 IC、数字 IC、混合信号 IC 的直流参数测试(电源电流、输入漏电流、输出电平)。
存储器、CPU、ASIC 的功耗评估与可靠性测试。
先进材料与组件研究
薄膜材料、纳米材料、传感器的电学特性表征。
电池、超级电容的充放电特性与内阻测试。
