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安捷伦(Agilent)4155C 半导体参数分析仪是已停产的台式直流参数测试系统,主打中等精度 IV/CV 表征,现属 Keysight(原安捷伦测试测量业务)历史产品线,依赖 Desktop EasyEXPERT 软件控制,支持扩展模块 41501B 实现高功率与脉冲功能。
参数详情
核心架构:内置 4× 中等功率 SMU(±200 V / ±100 mA,电流分辨率 1 fA,电压分辨率 0.2 µV)、2× 电压源单元(VSU)、2× 差分电压测量单元(VMU);可选 41501B 扩展器 增加 ±200 V / ±1 A 高功率 SMU 及 双脉冲发生器(最小脉宽 1 µs,±40 V)。
测量能力:直流 I-V 分辨率达 1 fA / 0.2 µV,支持 QSCV(准静态电容-电压)、应力测试、旋钮扫描、待机模式;CV 测量频率通常为 1 kHz–1 MHz(非高频,不支持高速脉冲 CV)。
软件与控制:通过 Desktop EasyEXPERT(与 B1500A 同平台)实现 GUI 操作,提供 80+ 预置可编辑应用测试,数据可存至本地/网络驱动,支持离线分析;无内置硬盘,依赖外接 PC(运行 Windows 95/NT 或早期 XP)。
接口:GPIB、LAN(10Base-T)、并口(打印机/绘图仪),不支持现代 USB/PCIe。
晶体管(MOSFET、BJT)DC 参数测试(如 Vth、Ioff、Gm)
二极管/LED I-V 曲线
电阻/电容元件表征
晶圆级或封装器件的漏电流
