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安捷伦(Agilent)4156B 半导体参数分析仪是1990年代推出的高精度台式直流/脉冲参数测试系统,标准配置含4个SMU(源测量单元),支持1 fA–1 A电流与1 μV–200 V电压测量,可扩展至6 SMU并搭配41501B增强单元实现高压(±200 V/1 A)与脉冲(±40 V)功能;已由Keysight(原安捷伦测试测量部门)于2005年后逐步被B1500A系列取代,属停产但仍在部分实验室服役的经典设备。
参数详情
电流分辨率 1 fA(偏移精度约20 fA),电压范围 1 μV 至 200 V
标配 4个全开尔文SMU,另含2 VSU(电压源)和2 VMU(电压监测单元)
支持 直流IV、准静态CV(QSCV)、脉冲IV(±40 V,最小脉宽~1 μs)及时域采样(60 μs–可变,最多10,01点)
内置HP Instrument BASIC自动化脚本,带旋钮扫描与彩色CRT/LCD显示
晶体管(MOSFET/BJT)I-V/C-V特性提取(如Vth、gm、leakage)
半导体材料与工艺表征
非易失存储器(Flash/EEPROM)可靠性测试(热载流子注入、耐久性)
分立器件与小规模IC的直流参数检测
