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基恩士(Keyence)VHX-X1 系列是新一代超景深3D数码显微系统,主打4K超高清成像、智能分析与大范围观测,专为工业检测与研发设计,已替代早期VHX-7000等系列(后者已停产)。
参数详情
平台与运动:标配 300 mm × 300 mm 大型电动载物台(分析范围约传统平台9倍),支持高精度旋转镜头(可选,兼容金相观察),重复定位精度达微米级。
操作系统与功能:全新触控式UI,支持 “异常识别”(AI自动比对OK/NG图像并色标差异)、“搜索照明”(实时多角度光源切换突显缺陷)、“快速重播”(自动记录并回放观测/测量流程);内置 27英寸 4K IPS显示器,帧率最高 50 fps(高帧模式下约30 fps)。
测量与分析:支持 2D/3D形貌测量(非接触式,基于D.F.D.或焦点堆栈)、面积/计数/RGB色彩分析、元素判别(需选配 EA-300模块,无需真空或破坏样品);数据可一键生成报告,支持LAN/USB导出。
照明:集成 多通道LED同轴/环形/透射/可变斜射照明,支持自动优化与多角度合成。
物理规格:主机尺寸约宽500×深600×高800 mm(含平台),重量约40 kg;工作环境 5–40°C,20–80% RH(无凝露);无目镜,全数字输出。
半导体晶圆与封装缺陷分析
锂电池电极/隔膜观察
金属/陶瓷断口与组织分析(金相)
汽车电子焊点与微裂纹检测
医疗器械表面粗糙度评估
电子元器件污染异物识别
材料科学研发及FA(故障分析)与QC(质量控制)环节
