VK-X105 是基恩士（Keyence）已停产的形状测量激光显微系统型号，属 VK-X 系列，无激光共聚焦功能，采用白光干涉或双光束干涉原理，非激光共聚焦（区别于 VK-X3000 系列）

参数详情

‌测量原理‌：白光/双光束干涉（非激光共聚焦），适用于高精度非接触式3D形貌与高度测量

‌放大倍率（15"显示器）‌：100×（水平2700 μm × 垂直2025 μm）、200×（1350×1012 μm）、400×（675×506 μm）、1000×（270×202 μm）

‌物镜对应数值孔径（NA）‌：0.13（100×）、0.3（200×）、0.46（400×）、0.8（1000×）；操作距离从22.5 mm（100×）至0.54 mm（1000×）

‌高度分辨率‌：约0.5 nm（典型，依赖物镜与模式），重复精度在数十至数百纳米级（如20×物镜下约40 nm）

‌XY载台‌：手动，行程约70 mm × 70 mm（部分资料提及，但 VK-X105 通常为简易平台）

‌控制器‌：集成于主机或专用模块（非 VK-X1000 系列控制器，后者用于激光共聚焦型号）