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VHX-S750E 是基恩士(Keyence)VHX-7000 系列的电动 XYZ 平台数码显微系统,专为高精度、全自动工业观测设计,并非摄像机或摄录设备(如 JVC 或日立的“750E”型号)。
参数详情
核心配置:集成电动 XYθ 平台(步进马达,分辨率 1 μm,移动速度 ≤10 mm/s,行程 ±20 mm,θ 转角 ±90°)与电动 Z 轴模块(5 相步进马达,分辨率 0.1 μm,速度 17 mm/s,行程 49 mm);搭载 1200 万像素 4K CMOS 摄像单元(如 VHX-7100),支持 20–6000 倍连续变倍(无需换镜),最大数值孔径达 0.9。
成像与功能:4K 模式下分辨率可达 4000×3000(标准)或 12000×9000(高精细模式),16-bit 灰度,内置高亮度 LED 环形光源(寿命约 40,000 小时),支持自动对焦、拼接、3D 形貌测量、粒子计数等智能分析。
机械规格:载重 5 kg,平台尺寸约 171×168 mm(中央 ø100 mm 圆板),电源 100–240 VAC,功耗 130 VA,工作环境 5–40 ℃。
广泛用于半导体封装检测
材料科学(断面/涂层分析)
精密制造(焊点/缺陷分析)
失效分析(FA)
科研教学等需高重复性
自动化多视角观测的场景,典型搭配 VHX-E 系列物镜(如 E500、E2500)实现高倍观察
