4155C 半导体参数分析仪
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安捷伦4156B是一款精密半导体参数分析仪,以下是其产品详情:
测量能力
- 高分辨率与宽范围:电流测量范围为1fA至1A,偏移精度达20fA;电压测量范围为1μV至200V。
- 扫描测量模式:采用直流或脉冲模式进行全自动IV扫描测量,可扩展至6个SMU(源测量单元)。
- 同步应力/测量功能:配备两个高压脉冲发生器单元(±40V),可实现同步应力/测量功能。
- 时域测量:测量范围为60μs至可变间隔,最多可采集10,001个点。
仪器功能
- 易于使用:具有类似于曲线跟踪器的旋钮扫描功能,方便快速查找设置条件,还有自动分析功能。
- 自动化能力:内置HP Instrument BASIC语言,具备触发I/O功能,可与外部仪器同步,构建自动测量系统。
数据处理与输出
- 显示与分析:测量和分析结果显示在彩色液晶显示屏上,可叠加四个图形存储器中存储的图形进行比较,还具有强大的图形分析工具,能自动提取处理参数。
- 数据存储与输出:设置、测量和分析数据可通过GPIB、并行或网络接口输出到彩色绘图仪和打印机,也可保存到磁盘,图形输出文件支持多种格式,便于传输到桌面出版软件。
硬件配置
- 多个测量单元:提供四个内置的高分辨率源/监控单元(HRSMUs)、两个电压源单元(VSUs)和两个电压监控单元(VMUs)。每个HRSMU具有激励源、感应和接地端,采用全开尔文遥感技术。
- 可扩展性:可添加Agilent HP 41501B SMU和脉冲发生器扩展器,扩展器可接受两个100mA/100V SMU或一个1A/200V SMU,以及两个特别同步的40V/200mA/1μs脉冲发生器。