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4200是模块化集成式半导体参数分析主机，机身自带触控显示系统，支持多类功能模块自由插拔扩展，集成直流 I-V、高频 C-V、高速脉冲 I-V 三大核心测量能力。主机搭载低噪声测量架构，搭配前置放大器可实现 10aA 级超微弱电流检测，适配高阻、纳米级微小器件测试。
参数详情
主机插槽：最多 9 个功能模块插槽
基础 I-V 测量范围：电压 0.2μV~±210V，电流 100fA~1A
选配前置放大电流下限：10aA
C-V 测量单元频率：1kHz~10MHz，直流偏置 ±30V
脉冲 I-V 指标：±40V 峰峰值 80V，最大 800mA，采样率 200MSa/s
连接接口：三同轴屏蔽端子、四线开尔文测量
配套软件：Clarius 测量分析软件，内置 450 + 标准测试流程
半导体器件研发：MOSFET、BJT、二极管 IV/C-V 曲线完整表征
先进工艺检测：MOS 电容栅氧厚度、掺杂浓度、阈值电压测试
存储芯片验证：非易失存储脉冲特性、BTI 可靠性老化测试
新材料研究：纳米器件、薄膜、高阻绝缘材料微弱漏电测量
光电器件测试：光伏电池、LED、光电二极管电学参数扫描
MEMS 与传感器：微器件静态功耗、绝缘阻抗高精度检测
晶圆量产检测：探针台联动批量器件参数自动化分选