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4200-SCS 是吉时利经典模块化半导体参数分析仪前代主机,机身内置工控系统与 12 英寸显示屏,搭载 9 个通用功能插槽,可自由加装 SMU 源测单元、CVU 电容测量单元、PMU 脉冲单元、前置放大器等模块。整机集成直流 I-V、高频 C-V、脉冲 I-V 三类核心测量能力,搭配三同轴屏蔽接口实现超低漏电测量,选配前置放大器可检测 10aA 级微弱电流。
参数详情
主机插槽:9 个功能模块通用插槽
内置配置:一体式工控主机,12 英寸液晶显示屏
基础 I-V 量程:电压 ±210V,电流 100fA~1A
低电流拓展:搭配 4200-PA 前置放大器最低 10aA
C-V 测量单元:测试频率 1kHz~10MHz,直流偏置 ±30V
脉冲测量模块:最大 80V 峰峰值电压,采样速率 200MSa/s
测量接口:三同轴屏蔽端子,支持四线开尔文连接
通信接口:LAN、GPIB、USB、外部触发 IO
配套软件:4200 内置测试软件,450 + 套标准测试脚本
半导体器件研发:MOSFET、二极管、BJT 完整 IV/C-V 曲线表征
先进工艺检测:栅氧厚度、掺杂浓度、阈值电压工艺验证
存储芯片测试:非易失器件脉冲特性、BTI 老化可靠性分析
新材料科研:纳米器件、薄膜、高阻绝缘材料微弱漏电测量
光电器件表征:光伏电池、光电二极管电学参数扫描
晶圆量产检测:搭配探针台实现芯片批量自动化参数分选
